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日本進(jìn)口愛(ài)發(fā)科渦輪分子泵 UTM-MI
產(chǎn)品型號(hào)： UTM-MI
產(chǎn)品品牌：日本愛(ài)發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
特征
控制器與泵體集成在一起
泵體和控制器之間無(wú)需接線。
自由安裝方向
自由安裝方向使系統(tǒng)設(shè)計(jì)更加靈活。
適用于輕工業(yè)過(guò)程的寬范圍和高流量。
泵旋轉(zhuǎn)角度可在 25% 至 100% 之間調(diào)節(jié)，
通過(guò)改變旋轉(zhuǎn)速度可以調(diào)節(jié)腔內(nèi)的壓力。
高耐久性、安全性
通過(guò)了空氣沖入試驗(yàn)、接地試驗(yàn)等安全確認(rèn)試驗(yàn)。
應(yīng)用
日本進(jìn)口愛(ài)發(fā)科渦輪分子泵 UTM-MI
| 模型 | UTM1200A | UTM1600A | UTM2300A | UTM3400A | ||||||||
| 進(jìn)氣口 | 威格士 150 | ISO 160F | 維他命 200 | 威格士 250 | ISO 200F | ISO 250F | 威格士 250 | ISO 250F | 維珍 300 | 威格士 350 | ISO 320F | |
| 出水口 | KF40 | |||||||||||
| 極限壓力 *1 | 10 -7帕斯卡 | |||||||||||
| 抽氣 速度 *2*3 | 氮?dú)?/span> | 1030 升/秒 | 1400 升/秒 | 2100 升/秒 | 3200 升/秒 | |||||||
| 應(yīng)收賬 | 980 升/秒 | 1330 升/秒 | 2000 升/秒 | 3100 升/秒 | ||||||||
| 氫氣 | 660 升/秒 | 750 升/秒 | 1380 升/秒 | 2100 升/秒 | ||||||||
| 壓縮率 | 氮?dú)?/span> | 2×10 8 | ≧ 1×10 8 | ≧ 1×10 9 | ||||||||
| 他 | 7×10 3 | 5×10 3 | 1×10 5 | |||||||||
| 氫氣 | 8×10 2 | 9×10 2 | 6×10 3 | |||||||||
| 入口 壓力*4 | 二十六 帕 | 4.5帕 | 七 帕 | |||||||||
| 出口 壓力*4 | 266 帕 | 200帕 | 270帕 | |||||||||
| 旋轉(zhuǎn)速度 | 37200 分鐘-1 | 33700 分鐘-1 | 27600 分鐘-1 | |||||||||
| 速度變化 | 轉(zhuǎn)速在額定轉(zhuǎn)速的25%~之間可調(diào)（設(shè)定為0.1%） | |||||||||||
| 啟動(dòng)時(shí)間 | ≦8分鐘 | ≦9分鐘 | ≦16分鐘 | |||||||||
| 安裝 位置 | 朝任意方向 | |||||||||||
| 表面 處理*5 | 沒(méi)有任何 | |||||||||||
| 溝通 | 接觸 | D-sub 25針母頭觸點(diǎn)輸入和輸出信號(hào) | D-sub 37針母頭 觸點(diǎn)輸入和輸出信號(hào) | |||||||||
| 串行 | 串行連接器 RS232C/RS485 | D-sub 9 針公頭 RS232C/RS485 | ||||||||||
| 控制器 | 作品 | 帶集成控制器的泵 | ||||||||||
| 輸入 電 功率 | 單相AC200?240V±10％（50/60Hz±2Hz） | |||||||||||
功率 | 0.75千伏安 | 1.2千伏安 | ||||||||||
| 冷卻方式 | 水冷 | |||||||||||
| 冷卻 水*6 | 流速 | 3～4升/分鐘 | ||||||||||
| 壓力 | 0.2～0.4MPa壓力 | |||||||||||
| 噪音 | 57 分貝（A） | 60 分貝（A） | ||||||||||
| 重量 | 43公斤 | 41公斤 | 56公斤 | 94公斤 | ||||||||
| 推薦 前級(jí)泵 *7 | ≧ 600升/分鐘 | ≧ 1500升/分鐘 | ||||||||||
| 適用標(biāo)準(zhǔn) | CE、TUV | |||||||||||
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | O型圈(僅限VG)、防塵蓋(出氣口)、遙控器接口、使用說(shuō)明書(CD-ROM) | |||||||||||
| 選擇 零件 | 交流電纜 | AC連接器/AC電纜（5m/10m/15m/20m） | ||||||||||
| 固定泵專用 螺栓 | M10/ M12 | |||||||||||
固定泵專用螺栓 | 需（M10) *8 | 不需要*8 | ||||||||||
| 選項(xiàng) | 氣體吹掃適配器（KF10） | |||||||||||
*表示1位數(shù)字。
*2無(wú)保護(hù)網(wǎng)。
*3計(jì)算值：UTM2300A和UTM3400A
*4入口壓力和出口壓力不能同時(shí)滿足。
*5不要流動(dòng)反應(yīng)性氣體和腐蝕性氣體。使用其他氣體時(shí)請(qǐng)與我們聯(lián)系。
*6不凝結(jié)
*7抽真空時(shí)30SCCM
*8螺栓等級(jí)，固定方法等受各種條件限制。請(qǐng)聯(lián)系
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